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砷化氫檢測儀測量標準值為0.3mg/m3，根據我國衛生標準1979年頒發的車間空氣中有害氣體、蒸氣及粉塵的最高允許濃度編號68砷化氫0.3mg/m3。砷化氫在空氣中主要以氣態形式存在，其毒性極強。在空氣中濃度為0.5mg/m3時即可引起急性中毒，工作場所空氣中的AsH3允許濃度(TLV-TWA)為0.05ppm。