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SF6氣體泄漏檢查分為定性和定量檢查，定性檢查是直接對(duì)設(shè)備各接頭密封點(diǎn)鋁鑄件進(jìn)行檢測(cè)，可以查出設(shè)備各泄漏點(diǎn)位置。定量檢查是通過(guò)包扎檢測(cè)、掛瓶法或壓力折算求出泄漏量，從而得出年泄漏率。

定性檢漏有抽真空檢漏和檢漏儀檢測(cè)兩種方法:

① 抽真空檢漏法是將設(shè)備抽真空至40Pa，停泵0.5h，在真空表上讀出A數(shù)，再停5h，讀出B數(shù)，若B - A≤133Pa，則認(rèn)為密封良好；

② 檢漏儀檢漏是將檢漏儀探頭沿設(shè)備各連接口表面和鋁鑄件表面移動(dòng)，根據(jù)檢漏儀讀數(shù)判斷氣體的泄漏情況。

檢漏儀檢漏時(shí)應(yīng)注意:探頭移動(dòng)速度應(yīng)慢，以防探頭移動(dòng)過(guò)快而錯(cuò)過(guò)泄漏點(diǎn);檢漏時(shí)不應(yīng)在風(fēng)速大的情況下，避免泄漏氣體被風(fēng)吹走而影響檢漏;檢漏儀選擇靈敏度高、響應(yīng)速度小的檢漏儀，一般使用檢漏儀的最低檢出量＜lppm，響應(yīng)速度＜5s較為合適。

定量檢漏通常采用扣罩法、掛瓶法、局部包扎法、壓降法等方法。扣罩法適用于高壓斷路器、小型設(shè)備適合做罩的場(chǎng)合，掛瓶法適用于法蘭面有雙道密封槽的場(chǎng)合，局部包扎法一般用于組裝單元和大型產(chǎn)品，壓降法適用于設(shè)備隔室漏氣量較大時(shí)或運(yùn)行期間測(cè)定漏氣率。通常，SF6設(shè)備在交接驗(yàn)收試驗(yàn)中，檢漏工作都使用局部包扎法和扣罩法查漏。